经济日报记者:2021年,兴发集团牵头筹建三峡实验室,您组建了微电子关键化学品攻关团队,实现了一系列“卡脖子”的关键技术突破。这些年来,您对加快实现高水平科技自立自强有什么切身体会和感受?
李少平:芯片制造有数百道工序,需要重复进行光刻、显影、蚀刻、薄膜等工艺,每一道工序都会用到大量超高纯电子级磷酸、硫酸、蚀刻液等湿电子化学品。这些关键材料过去完全依赖进口,是制约我国芯片产业发展的重要“卡脖子”技术难题。
面对国外技术垄断和封锁,2008年起,我们开始研发攻关。
电子级磷酸行业门槛高、技术难度大,技术参考和研发储备全部为零。花了两年时间,我们才建起第一条生产线,研发出磷酸杂质含量低于100ppb(1ppb为十亿分之一)的产品,还没来得及高兴,客户的品质需求提升到80ppb;当我们达到80ppb时,客户又要求达到50ppb。
这让我们深刻感受到:追赶跟跑永远没有出路,必须推动高水平科技自立自强。
在不断调整研发方案,经过10年的潜心攻关后,我们成功将电子级磷酸产品金属离子杂质含量稳定控制在3ppb以内,主要技术指标达到国际最高标准的G3等级。公司电子级磷酸、电子级硫酸相关成果整体技术达到国际先进水平。
十多年来,我们硬闯出一条芯片用关键材料国产化路径,不仅全面实现国产替代,还与发达国家企业同台竞技参与国际市场竞争,从“光脚追赶”跃升为行业领跑。
2021年4月24日,在习近平总书记考察兴发集团3周年之际,我们挂牌成立中部地区首个、全国第二个电子化学品专区。目前,湖北电子化学品专区总产能达到30万吨/年,已成为全国最大的湿电子化学品生产基地。
作为一名科技战线的人大代表,我将立足本职岗位,进一步坚定创新自信、勇攀科技高峰,为未来更高端、更先进制程的“中国芯”关键材料提供安全可靠的供应链支撑,将关键技术牢牢掌握在我们手中。
(湖北日报全媒记者 曹雯)